电子级超纯水标准（GB/T11446.1997）下载

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指标

中华人民共和国电子级水国家标准（GB/T11446.1997）

ASTM电子级水

(E-I)标准

(1993年)

EW-I

EW-II

EW-III

EW-IV

设计参考值

电阻率

MΩNaN(25℃)

18以上

(95%时间)

不低于17

15

(95%时间)不低于13

12.0

0.5

10以上

(95%时间)

不低于5

18以上(90%时间)不低于

17

全硅,最大μg/L

2

10

50

1000

≤20.0

5(SIO₂₎

>1μm微粒数,

最大值,个/mL

0.1

5

10

500

10

0.1

细菌个数,

最大值个/ mL

0.01

0.1

10

100

≤<10

1/1000

铜最大值, μg/L

0.2

1

2

500

≤2

1

锌最大值, μg/L

0.2

1

5

500

≤5

0.5

镍最大值, μg/L

0.1

1

2

500

≤2

0.1

钠最大值, μg/L

0.5

2

5

1000

≤5

0.5

钾最大值, μg/L

0.5

2

5

500

≤5

2

氯最大值, μg/L

1

1

10

1000

≤10

1

硝酸根,

最大值, μg/L

1

1

5

500

≤5

1

磷酸根,

最大值, μg/L

1

1

5

500

≤5

1

硫酸根,

最大值, μg/L

1

1

5

500

≤5

1

总有机碳,

最大值, μg/L

20

100

200

1000

≤200

1

细菌内毒素

(E.U.)

0.03